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2021.09.14 12:52

旭化成、製造設備から出火と推定　宮崎県の半導体工場火災

高知新聞社

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　火災が起きた「旭化成マイクロシステム」延岡事業所＝２０２０年１０月、宮崎県延岡市

　旭化成は１４日、宮崎県延岡市の半導体工場で昨年１０月に発生した火災について、クリーンルーム内の製造設備が出火場所になったと推定したと発表した。建屋内の損傷が激しく、出火原因は特定できなかったが、「電気的要因」と推定した。工場は現在も停止中で、復旧見通しは「未定」と改めて説明した。


　火災が起きた工場では自動車や音響メーカー向けの高密度集積回路（ＬＳＩ）を生産していた。工場が停止したため、国内外の他メーカーが代替生産している。


　同社は、５階建て工場の４階にある半導体材料のウエハーを製造する設備である「チタン除去装置」から出火したと推定した。

(c)KYODONEWS

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